SUSS: Digitale Audits schaffen Mehrwert im Anlagenbau

SUSS, Anlagenhersteller für die Halbleiterfertigung, setzt auf die cluetec Audit Software. Der SUSSKonzern entwickelt und fertigt Anlagen sowie Prozesslösungen für Mikrostrukturanwendungen – ein Bereich, in dem SUSS über 75 Jahre Erfahrung verfügt. Das Portfolio umfasst ein breites Spektrum an Produkten und Lösungen für die Bereiche Backend-Lithografie, Wafer-Bonding und Fotomaskenreinigung.

Ausgangslage

So innovativ die Fertigung bei SUSS ist, einem führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten, so traditionell war lange Zeit das Vorgehen bei internen und externen Audits. Diese wurden nach branchenüblichem Standard in Excel durchgeführt.

Ein hoher Pflegeaufwand, die manuelle Nachverfolgung von Maßnahmen sowie zeitintensive und fehleranfällige Auswertungen waren Nachteile, welche es zu optimieren galt: Weg von starren ExcelTabellen, hin zu einem digitalen, dynamischen Auditprozess, der Transparenz schafft und kontinuierliche Verbesserungen ermöglicht.

Ziele & Erwartungen

Mit der Einführung von cluetec Audit verfolgt SUSS konkrete Ziele. Im Zentrum steht die Digitalisierung aller Auditprozesse, mit dem Anspruch, Effizienz und Transparenz deutlich zu steigern. Die Verantwortlichen wollen die Ergebnisse nicht nur schneller dokumentieren, sondern auch visuell aufbereiten und damit eine bessere Grundlage für Entscheidungen schaffen.

Besonders wichtig ist zudem die Nutzung mobiler Endgeräte wie iPads für die Auditdurchführung direkt am Einsatzort. Statt mit Stift und Papier, was zu einem enormen Aufwand in der Nachbereitung führte, werden Audits am Tablet durchgeführt. Fotos, Notizen und Kommentare werden, frei von Medienbrüchen, direkt miterfasst.

Ein weiterer entscheidender Faktor ist das ausgeklügelte Maßnahmenmanagement der Audit Software. Klare Verantwortlichkeiten, strukturierte Prozesse und nicht zuletzt die automatisierten Eskalationsstufen sparen nicht nur Zeit, sondern sorgen auch für echte und nachhaltige Verbesserungen.

Projektverlauf & Implementierung

Die Implementierung von cluetec Audit bei SUSS erfolgte schrittweise. Mit dem Projektstart im November 2023 wurden die bestehenden Fragenkataloge der Auditsoftware grundlegend überarbeitet und auf die spezifischen Anforderungen des Unternehmens zugeschnitten. Bereits im März 2024 war die inhaltliche Vorbereitung abgeschlossen. Nur wenige Monate später, im Juni 2024, konnte das erste Audit mit der neuen Lösung erfolgreich im Bereich Digitization durchgeführt werden. Nach rund einem Jahr war die Software in den Auditprozessen vollständig implementiert. Ein bewusst geplanter Zeitraum, um den notwendigen Abstimmungsaufwand sowie der Vorbereitung gerecht werden zu können. Seit dem erfolgreichen Start wurde der Einsatz der Lösung kontinuierlich erweitert. Für maximale Transparenz wurden z. B. eigene Dashboards im integrierten Power-BI-Modul entwickelt. Zusätzlich wird cluetec Audit seit Anfang 2025, neben Systemaudits auch für Lieferantenaudits und Potenzialanalysen genutzt.

Ein weiterer Mehrwert liegt in der Möglichkeit, auch internationale Standorte wie das Werk in Taiwan einzubinden. Durch die einfache Sprachwahl stellt SUSS sicher, dass Audits problemlos in verschiedenen Sprachen durchgeführt werden können. So wird gewährleistet, dass Audits weltweit nach einheitlichen Maßstäben erfolgen und Ergebnisse standortübergreifend transparent vergleichbar sind.

Ausblick

Nach der erfolgreichen Digitalisierung von System- und Lieferantenaudits sowie dem Aufbau eigener Dashboards plant SUSS, künftig auch Prozess– und Produktaudits mit der cluetec Audit Software durchzuführen. Damit entsteht ein weltweit einheitlicher Auditstandard, der nicht nur die Qualität auf ein neues Level hebt, sondern auch die Kundenzufriedenheit langfristig sichert.